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镀膜设备该选择哪种主泵配置

发布日期:2019-04-27 00:00 来源:http://www.gilitek.cn 点击:

    真空系统在镀膜设备行业中可谓是非常重要,是其不缺缺少的设备之一。目前常用的真空系统结构形式一般是由主泵及前级泵串联,加上阀门管道和真空测量仪表组成。而所选的主泵基本上分为两种形式,分别为有油真空和无油真空系统。

镀膜设备

    那么什么是有油真空系统和无油真空系统呢?下面小编来给大家介绍一下:

    有油真空系统基本是以油扩散泵为主泵,前级泵采用机械泵或者罗茨泵。我们知道,油扩散泵的压力方位比较大,同时抽气速率非常的高,能够达到每秒十几万升。其工作能力在业内是数一数二的,这也得益于其具有良好的性能。从优点上来讲,有油真空系统工作可靠,没有振动,没有噪音,寿命长,维护建档透支费用低,是很多厂家都喜欢使用的。但是其缺点也非常的明显,就是会形成污染源,大规格泵在这方面更加的严重。

    无油真空西永是使用分子泵和低温泵作为主泵的,其特点主要集中在能够连续大量抽气,可以获得清洁无油的超高真空。并且该系统启动时间快,停泵时间短。但是该系统抽重气体比抽轻气体快,对水蒸气类型的的抽速比较慢,当气体大量经过泵的时候,抽速就会下降的很快。

    这两种真空镀膜设备各有各的优点和缺点,使用者应该考虑自己的需求来进行选购。


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