光学镀膜机对于单片膜色不均匀产生的原因

光学镀膜机对于单片膜色不均匀产生的原因

光学镀膜机主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。

另外镜片被镜圈(碟片)边缘部遮挡、镜圈(碟片)脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。

改善思路：改善镜片边缘的蒸发角。

改善对策：

㈠ 条件许可，用行星夹具;

㈡ 选用伞片平坦(R大)的机台;

㈢ 根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。

㈣ 如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。

㈤ 改善镜圈(碟片)，防止遮挡。

㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡

㈦ 清洁镜圈(碟片)

㈧ 改善膜料蒸发状况。