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光学监控法的特点
真空镀膜机膜厚的监控方法较多,目前较新的方法是光学监控法,其相对于的传统的石英晶体微量平衡法来说,光学监控法更具有准确性,因为传统的测试的方法很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成较大的误差。下面镀膜机厂家就来为大家介绍一些光学监控法的特点。
光学监控法可以有效提高光学反应对膜厚度变化灵敏度的理论和方法来减少误差,提供了反馈或传输的选择模式和大范围的监测波长,光学监控法非常适合于各种膜厚的镀膜监控包括非规整膜监控,能够更精确地控制膜层厚度 。