福泉溅射镀膜机

所属分类：福泉离子溅射镀膜机
点击次数：
发布日期：2020/04/21
在线询价

详细介绍

型号：IBSV-1030

特点：

a)基板垂直放置，水平监控；

b)转靶左右可调，保证靶面中心和离子源最佳距离；

c)基板：12吋×1 ;

d)靶材：两靶或三靶可更换；

e)多光路监控。

f)工件夹具：12吋

工艺参数：

1）真空系统

a)极限真空度：4.0×10-5Pa

b)抽至10Pa所用时间 10 Pa：≦ 10 分钟

c)漏率：3.0×10-5Pa m3/sec

2）控制精度

a)靶材旋转：0.005°

b)工件旋转: <1000RPM

c)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/rev

d)膜厚修正板：0.005°

e)挡板: position switch

3）光学监控系统OMS

a) 波长范围：380nm～1650nm

b) 光源稳定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02%

c) 波长分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm

d) 波长准确度: 白光0.2nm ，激光0.1nm

杰莱特拥有领先的真空镀膜技术，已申请多项zhuanli。产品类型包括离子溅射镀膜机、电子枪蒸发镀膜机、高精度光学监控系统等，同时承揽镀膜机设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务。

公司生产的离子溅射和电子枪镀膜机，是针对特定市场和客户群体开发的新产品，与目前市场上普遍采用的镀膜机相比具备以下突出优势：单体同步精密监控，实时膜厚分布控制。因此适合做各类高难度镀膜产品。单片薄膜产品的面积越大，优势越明显。而电子枪蒸发镀膜机还增加了双面镀膜功能，适合半导体激光器的端面镀膜。

我公司将利用自身技术优势，根据客户需求，生产各种类型的高端精密镀膜设备，打破目前在高端镀膜机市场全部由国外企业垄断的局面，欢迎各界人士来电咨询！