真空镀膜设备应该怎样维护和保养？

       真空镀膜设备是指用于在真空状态下进行镀膜的设备，比如异质结太阳能电池用ITO及金属镀膜设备、Vakla-MSC-5050磁控溅射多层膜镀膜设备以及VAKIA-ILC系列连续式ITO导电玻璃真空镀膜生产线等等。

　　不管是异质结太阳能电池用ITO及金属镀膜设备，还是Vakla-MSC-5050磁控溅射多层膜镀膜设备，尽管制造过程，技术和方法可能不一样，但是保养上都是大致相同的。除了日常保养外，也要定期保养。

　　真空镀膜设备应当在保养上有自己独特的保养规章制度。工作人员在日常的操作中应当根据规则进行保养。每个生产厂商应该给其产品制作相应的使用说明书和保养说明书。保养时最好有个日常保养册子，记录日常保养的内容。设备在完成一定量镀膜工作的时候，要注意清洁工作室，可以用烧碱饱和溶液清除污垢。设备在使用中要及时定期换新油。换油时发现有污垢也要及时清理。当扩散汞抽速减慢时，就应该考虑是不是操作失误或者是扩散汞需要清洁。

　　除了上述保养方法外，更重要的是负责设备维护和保养的工作人员。这个工作人员就好比是这个设备的负责人，不管设备出现什么问题都要及时处理，不要忽略一些小问题，小问题也可能带来大麻烦。这个工作人员一定要选择好，需要有责任心、有耐心，并且细心的人才能胜任，设备保养好了才能延长设备生命，提高生产效率。