镀膜设备扩散泵的性能分析

镀膜设备的扩散泵具有结构简单、制造容易、成本低、性能稳定可靠、使用方便、寿命长、没有运动件、无振动、无噪音等特点，受到广大用户的青睐。因此，扩散泵是有发展前景的。扩散泵除了理论研究不够深入，设计计算方法不够完善之外，主要的问题是耗能耗水和油污染。当前世界各国普遍认识到了能源危机，水资源短缺和油污染对产品质量有影响。因此，解决扩散泵的上述三个问题是扩散泵产品生产厂家和用户值得重视的研究方向。关于能耗扩散泵的能源浪费主要体现在加热器上。

至今为止，各扩散泵生产厂家都使用裸露的电阻丝加热，电炉盘与泵底之间的间隙不可避免，尽管有的厂家加了保温措施，但收效不明显，这一点可以从各厂家的扩散泵样本上体会出来。在生产实际中，大多数厂家没有调压器，无法调出最佳加热功率。

扩散泵节能的办法应该是彻底改变现有加热器的结构。外加热器可改成贴泵底的加热器，消除空气隙，增强导热率；内加热器功率损失最小，利用率最高，如果再加上翅片，不但能增加传热面积，还可以提高油蒸汽的温度和质量，形成汽相加热，减少油雾滴。这两种方法并不是什么新概念，国外有产品、国内有实验。可惜的是前些年的实验效果不佳，终告失败，这不是实验者的错，而是受当时技术、材料和工艺等条件的限制。

       泵油分馏主要是利用泵油各组分的蒸发温度不同，使它们分别在不同的锅炉面积上蒸发。当工作后冷凝回流的泵油流到有保温罩部分的泵壁时，油即得到预加热，随即流到油锅周边,经锅底环形加热器加热,轻馏分的油达到蒸发温度便在外层蒸发而进入低真空工作喷嘴 ——靠近前级泵的喷嘴;未能蒸发的某些轻馏分油也是因为比重较其他馏分油小而浮到油面上。由于外层蒸气导管的限制，这部分馏分蒸发后仍进入低真空工作喷嘴。重馏分的油在外层蒸气导管中因未达到蒸发温度而未蒸发，所以从外层由锅底间的缝隙流到油锅中心蒸发，进入高真空工作喷嘴。轻、重馏分的油蒸气这样分道供给低真空工作喷嘴和高真空工作喷嘴这一个过程叫做分馏。从喷射喷嘴喷出的油蒸气在前级得不到充分的冷却，蒸气中的轻馏分即未能完全冷凝而被前级泵抽除。这样循环工作，泵油中的轻馏分就越来越少，重馏分的比例也就越来越大，泵油便逐渐趋于纯净。这一过程叫做净化。泵油的分馏和净化，对提高泵的极限真空有重要作用。