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真空镀膜设备维修保养应该注意哪些问题?

发布日期:2018-01-20 00:00 来源:http://www.gilitek.cn 点击:

        在维修保养真空镀膜设备过程中需要注意的事情: 1.平时,整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要是真空室长期暴露在大气中; 2.经常检查胶封是否良好,特别是动密封圈,定期给动密封处加上真空脂; 3.定期检查电气元件,清除灰尘,更换烧坏的元、器件; 4.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是:先将整个真空系统抽至真空状态,注意不要加热扩散泵,用手动打开精抽阀,然后按放气阀按钮让系统充入大气,当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门; 5.停旋片泵、滑阀泵时,要注意电磁阀(或气动阀)是否向泵腔充气,否则会引起回油,污染真空管道。因此,电磁阀(或气动阀)充气动作失灵时,必须及时进行修理或更换;

镀膜设备

       6.对于偏北地区,在寒冷季节,夜间和教长时间停机时,必须用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体,以免冻裂冷却水管(套)、泵体; 7.精抽系统要待真空压强达到3Pa后才能工作,若在过高的压强下进行抽气,会使扩散泵油氧化,降低抽气能力,缩短泵油的使用寿命; 8.为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境,滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外,因为从滑阀泵排出的气体含有很多微小的有雾。若不把它排出工作房,则在装被镀的工件时,尽管工件表面经过认真的清洁处理,仍然很快就会被微小的油雾所污染,严重影响膜层的质量; 9.在工作过程中不得断水,采用的冷却水必须清洁,不得使用硬水或浊水作为冷却水,否则会使冷却水管沉积一层水垢,影响冷却效果。 10.在工件架旋转时500MM内严禁站人,待停止后方可靠近!!!

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