杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
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型号:IBSH-900 特点: 1、基板水平放置,垂直监控; 2、靶材左右移动,位置和速度可编程控制; 3、基板:12吋×1 或 6吋×4; 4、靶材:两靶,三靶或四靶可更换; 5、多光路监控。 6、无膜厚分布修正板 | 工艺参数: 1、真空系统 a) 极限真空度:4.0×10-5Pa b) 抽至10Pa所用时间:≦ 10 分钟 c) 漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec 2、控制精度 a) 靶材旋转:0.005° b) 工件旋转: <1000RPM c) 编码器: 12000lines;480000Counts/rev d) 膜厚修正板:0.005° e) 挡板: position switch 3、光学监控系统OMS a) 波长范围:380nm~1650nm b) 光源稳定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02% c) 波长分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm d) 波长准确度: 白光0.2nm ,激光0.1nm |
杰莱特拥有领先的真空镀膜技术,已申请多项zhuanli。生产多种高质量镀膜设备,同时承揽镀膜设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务。
公司生产的各型镀膜机,是针对特定市场和客户群体开发的新产品,与目前市场上普遍采用的镀膜设备相比具备以下突出优势:单体同步精密监控,实时膜厚分布控制。因此适合做各类高难度镀膜产品。单片薄膜产品的面积越大,优势越明显。而电子束镀膜机还增加了双面镀膜功能,适合半导体激光器的端面镀膜。
杰莱特秉承质量第一,信誉至上的理念专注镀膜行业数十年,我公司将利用自身技术优势,根据客户需求,生产各种类型的高端精密镀膜设备,打破目前在高端镀膜机市场全部由国外企业垄断的局面,欢迎各界人士来电咨询!
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