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垂直型离子溅射镀膜机 IBSV-1030P

  • 所属分类:离子溅射镀膜机

  • 点击次数:
  • 发布日期:2019/01/25
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详细介绍

型号:IBSV-1030P 


特点:

1、基板垂直放置,水平监控;

2、转靶左右可调,保证靶面中心和离子源最佳

      距离;

3、基板:12吋×1 ;

4、靶材:两靶或三靶可更换;

5、多光路监控;

6、工件夹具:12吋


工艺参数:

1、真空系统

     a) 极限真空度:4.0×10-5Pa 


     b) 抽至10Pa所用时间 10 Pa:≦ 10 分钟

     c) 漏率:3.0×10-5Pa m3/sec

2、控制精度

     a) 靶材旋转:0.005°

     b) 工件旋转: <1000RPM

     c) 编码器Encode: 12000lines;

                                480000Counts/rev

     d) 膜厚修正板:0.005°

     e) 挡板:  position switch

3、光学监控系统OMS

     a) 波长范围:380nm~1650nm

     b) 光源稳定性: 白光< 0.1%,激光< 0.02%

     c) 波长分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

     d) 波长准确度: 白光0.2nm ,激光0.1nm


      杰莱特拥有世界领先的真空镀膜技术,已申请多项专利。生产多种高质量镀膜设备,同时承揽镀膜设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务。

      公司生产的各型镀膜机,是针对特定市场和客户群体开发的新产品,与目前市场上普遍采用的镀膜设备相比具备以下突出优势:单体同步精密监控,实时膜厚分布控制。因此适合做各类高难度镀膜产品。单片薄膜产品的面积越大,优势越明显。而电子束镀膜机还增加了双面镀膜功能,适合半导体激光器的端面镀膜。

      杰莱特秉承质量第一,信誉至上的理念专注镀膜行业数十年,我公司将利用自身技术优势,根据客户需求,生产各种类型的高端精密镀膜设备,打破目前在高端镀膜机市场全部由国外企业垄断的局面,欢迎各界人士来电咨询!


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