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真空镀膜机安全管理规定

发布日期:2016-09-01 00:00 来源:http://www.gilitek.cn 点击:

       真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜机。镀膜机操作人员必须详细阅读该机说明书,了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训,熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范,方能独立上岗操作。

真空镀膜机安全管理规定

  一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象,接上电源,并检查真空室内电极绝缘性,钨丝接触是否可靠,工件架转动是否自如。联轴器,输入电极接触是否良好,各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源,各种机械泵转向都应正确。注意:试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。

  经过上述检查,各项性能良好,才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气,还必须进行“炼气”,就是按照操作规程,不进行镀膜,只让机械泵、扩散泵等连续抽气,察看真空度上升的稳定情况,若真空度保持稳定,才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查:

  1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间

  二、满足以上各项检查后,进入操作和使用:

  1.在非特殊情况下,请勿以断拉闸(断电)方式停机。

  2. 本设备通电及运行过程中,请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件,注意安全。

  3. 确认安全无误时才能操作设备。

  4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。

  5. 设备及电源控制柜必须良好接地。

  6. 非专业人员请不要维修本设备。

  三、工作中还必须注意以下几点:

  1.平时,整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要使真空室长期暴露在大气中;

  2.真空室镀膜200-250次后,要清洗真空室和工作支撑架;

  3.经常检查胶封是否良好,特别是动密封圈,定期给动密封圈加上真空脂;

  4.定期检查电气元件,清除灰尘,更换烧坏的电器元件;

  5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门;

  6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油,换油(保持油面在油镜中心为佳);

  7.充气阀门充气动作失灵时,必须进行检修;

  8.镀膜完毕时先关闭真空测量计,再关闭精抽、前置阀,待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气,否则会烧坏电离规管,氧化扩散泵油及发生不必要的以外;

  9.镀膜机在工作过程中,不得断水,若在工作过程中突然停电,应马上关闭精抽阀门,减少因系统漏气泵油的氧化;

  10.关罗茨泵后一定要经过1分钟后才能关粗抽泵,否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体,会损坏罗茨泵。


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