真空镀膜机注意事项及保养

真空镀膜机注意事项及保养

真空镀膜机的镀膜原理是在高真空条件下，利用电子束对金属或非金属材料加热到适当温度，热蒸发成蒸气分子材料，蒸发出来的分子到处迸射，碰到待镀物体，随之沉积在基材表面形成膜层。真空镀膜机广泛应用于微电子，光学成膜，装饰，表面工程等领域。它在防止油污和工作效率上具有非常好的性能。而想要真空镀膜设备长期稳定的运行，正确的使用及保养方法是必不可少的。

开机前要检查水电气是否正常，开机后，光控系统等于要先稳定1小时再使用，镀膜前要检查光控片、晶控片寿命，加料、清洁之类的需要盖上离子源的防护板，防止离子源栅网损坏。为了使光学镀膜机能正常工作，平时需要对机器进行保养，定期更换泵油，2个月左右为宜，真空泵也2个月一换，新的真空泵需要在使用半个月就立即更换，定期清洁设备及周边环境，保持设备及环境的干净。