真空镀膜机真空室形变带来的影响

为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响，我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上，其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑，以吸收和隔离形变，并设置形变补偿调节机构，在系统抽真空前，参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量，以使其在真空状态下达到平衡。 

为了验证有限元计算的结果，对真空室的形变和补偿进行了测试。第一步，将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧，当真空室由大气抽到真空时，记录各千分表的变化量，经归一化处理后为用激光自准直仪调整形变补偿。   

由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜，在大气环境下调整形变补偿调节机构，使反射光束进入自准直仪接收视场，记录两维角度偏差。

按有限元计算（或第一步测量）的真空状态下的补偿量再次调整，显然，此时的反射光束已远离自准直仪接收视场，但一旦真空室进入真空状态，反射光束又重新进入自准直仪的接收视场，记录此时的两维角度偏差。前后两次显示的两维角度偏差基本吻合。

工作台运动副的润滑及对真空环境的影响工作台的扫描是处于真空室环境下的频繁运动，除用滚动代替滑动来降低摩擦系数外，在导轨、丝杆等运动副之间采取良好的润滑是保证刻蚀装置长时间正常运行的必要条件。

真空中的润滑的方式通常有镀固体润滑膜和直接使用润滑剂等镀膜容易破坏导轨的运动精度，且工艺复杂。

为此，我们测试了一种市场商品――二硫化钼润滑剂的润滑效果，将该润滑剂直接喷涂在运动副表面，并用四极质谱仪分析了该润滑剂在真空中挥发出的气体的主要成分。