杰莱特(苏州)精密仪器有限公司
联系人:
王先生: 13584469633
0512-58915051
蒋女士:18666211019
地 址:sales@gilitek.cn
邮 编:215600
网 址:www.gilitek.com
型号:IBSV-1030 特点: a)基板垂直放置,水平监控; b)转靶左右可调,保证靶面中心和离子源最佳距离; c)基板:12吋×1 ; d)靶材:两靶或三靶可更换; e)多光路监控。 f)工件夹具:12吋 工艺参数: 1)真空系统 a)极限真空度:4.0×10-5Pa b)抽至10Pa所用时间 10 Pa:≦ 10 分钟 c)漏率:3.0×10-5Pa m3/s | 2)控制精度 a)靶材旋转:0.005° b)工件旋转: <1000RPM c)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/rev d)膜厚修正板:0.005° e)挡板: position switch 3)光学监控系统OMS a) 波长范围:380nm~1650nm b) 光源稳定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02% c) 波长分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm d) 波长准确度: 白光0.2nm ,激光0.1nm |
杰莱特拥有领先的真空镀膜技术,已申请多项zhuanli。生产多种高质量镀膜设备,同时承揽镀膜设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务。
公司生产的各型镀膜机,是针对特定市场和客户群体开发的新产品,与目前市场上普遍采用的镀膜设备相比具备以下突出优势:单体同步精密监控,实时膜厚分布控制。因此适合做各类高难度镀膜产品。单片薄膜产品的面积越大,优势越明显。而电子束镀膜机还增加了双面镀膜功能,适合半导体激光器的端面镀膜。
杰莱特秉承质量第一,信誉至上的理念专注镀膜行业数十年,我公司将利用自身技术优势,根据客户需求,生产各种类型的高端精密镀膜设备,打破目前在高端镀膜机市场全部由国外企业垄断的局面,欢迎各界人士来电咨询!