浅析真空镀膜机操作要领有哪些?

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书

和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。

①检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。

②打开总电源开关，设备送电。

③低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

⑤落下钟罩。

⑥启动抽真空机械泵。

⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。

a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

⑨真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

⑩低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。

⑪等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。

真空镀膜机a.发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。

b.左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。

⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。

⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。

⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。

⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。

⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。

⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。

⑲开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、2、3、4孔，可插入任意一孔）。

⑳右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。

a.从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。

b.当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。

c.铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。

d.右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。

21.如果再想蒸镀一次（为了增加电极金属层厚度）：把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。

22.关闭规管灯丝开关。关闭高压阀（逆时针转手柄）。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。

23.低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。

24.真空镀膜机的钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下（原下面已镀一层铝膜面向上）。紧固在转动圆盘上。

25.落钟罩。开机械泵。

a.左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。

b.当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。

c.左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

d.当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。

e.当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。

f.由⑰开始重复操作至⑳。

26.PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。

a.落下钟罩。

b.开机械泵，抽3~5min，停机械泵。

c.切断供电总开关。

d.1h后再关闭冷却水。操作全部完成。

27.真空镀膜机正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。

以上就是真空镀膜机的操作程序。