真空镀膜机多片式比较片装置的设计特点

真空镀膜机多片式比较片装置的设计特点

1)固定筒3 圆筒形状、大直径、厚壁结构的设计和周向对称的固定方式，可保证其有足够的强度和刚度，同时，还可阻止高温溅射磨料对其内部零部件污染，保证拨动盘15 转动的灵活性。

2)圆形轴承座2 的设计，保证轴承座安装的密封性和垂直度；增大轴1 的直径尺寸，加大轴承座2 中两轴承的安装间距，提高其自身的强度和刚度，保证转动过程中轴1 的刚度和拨动盘15的旋转灵活性、位置重复的一致性。

3)装载换位机构，通过扩大支承盘16 的直径，使该机构在平面方向的有效面积增大，可安装直径大(Φ26.5mm)的比较片，有利于光路调整，提高光学薄膜质量；比较片12 由单片玻璃作为一个比较片单元，比较片采用空间立体叠加安装方式，多片玻璃叠加安装在一个比较片存储筒13 内，实现一次可放置50~100 片比较片，解决镀膜机镀制多层精密光学薄膜，比较片数量少影响镀膜层数和精度的问题。

4)定位盘6 与槽型光藕17 的配合，通过槽型光藕来感知定位盘上三个均分的120°狭缝，控制电机转动停止。轴1 旋转定位重复的一致性得到保证，带动拨动盘15 完成准确的拨片动作。

5) 转动密封馈入机构引入威尔逊密封机构5，既保证电机9 通过齿轮啮合带动轴1 的灵活转动，又保证真空室对外部的密封作用。优化设计的真空镀膜机多片式比较片装置，

其特点：

1)结构简单，强度高，可靠性好；

2)比较片装载数量大，生产效率提高，可镀制超多层精密光学薄膜；

3)比较片直径增大，提高薄膜监控的精度，降低对硬件系统的要求，系统容易实现自动控制；

4)维护保养费用低。