真空镀膜技术在光学仪器中的应用

人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪、以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等。它们都离不开镀膜机技术，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。

一般光学仪器中的光学系统都由多个透镜组成，光线要经光气-玻璃界面，会有相当多的光线被反射掉，透过的光线很少，影响光学仪器的光学效果。

为了减少反射损耗，增大光线的透过率，往往在玻璃表面沉积增透膜来提高光的透过率。反射膜与增透膜相反，反射膜要求把入射光大部分或几乎全部反射回去。例如：光学仪器、激光器、波导管、汽车和灯具的反射镜都需要镀反射膜。反射膜有金属膜和介质膜两种。

镀制金属高反射膜最常用的材料有铝、银、金、铜等。为了提高金属膜表面的抗擦损能力，往往在表面镀一层保护膜，如SiO/SiO2/Al2O3。

在激光器和多光束干涉仪反射镜上，一般沉积低吸收、高反射的全介质反射膜。其结构是在基片上交替沉积光学厚度为λ/4的高、低折射率材料的膜层。