欧盟功能金属氧化物薄膜材料应用于新一代电子装置

      利用最新纳米技术开发的功能金属氧化物薄膜材料（Functional Thin-Film Metal-Oxides Materials，具有优良的电磁传导、物理化学和机械性能，可广泛应用于节能照明、显示电子、化合物检测、柔性透明和气体传感等领域，具有开启后硅基半导体电子新时代的巨大潜力。欧盟第七研发框架计划（FP7）提供980万欧元资助，总研发投入1340万欧元，由欧盟8个成员国德国（总协调）、英国、意大利、比利时、荷兰、葡萄牙、希腊和斯洛文尼亚，微纳米电子工业界联合科技界组成的欧盟微纳米电子技术平台（ORAMA ETP）。在建立紧密合作型研发创新公私伙伴关系（PPP）的同时，将长期致力于功能金属氧化物薄膜材料的研制开发及商业化推广应用。　　

　　技术平台在广泛征求利益相关方意见建议和反复讨论的基础上，制定出战略科研议程（SRA）和技术开发路线图。建立起可全面分析模拟功能金属氧化物的二元、三元和四元结构数字模型，可有效分析材料的物理化学、镀膜机、掺杂机制、薄膜形态和光电特性等，预测薄膜材料的特定功能。采用先进的细胞粒子等离子技术（Particle-in-Cell plasma technique），在低温情况下通过柔性衬底模板沉积法（Patterned Deposition），实现功能金属化合物薄膜材料的低成本生产。　　

　　截至目前，技术平台已成功开发出材料的一系列创新型产品应用。例如，替代传统开关、旋钮或按钮的触摸屏产品；检测低浓度气体或化合物的传感器；电致变色或光致变色玻璃产品等。鉴于功能金属氧化物薄膜材料生产的低成本、轻质、环保、透明和不使用稀有贵重金属，可广泛应用于新一代紧缩型、可穿戴、光透明电子装置。