真空镀膜机设备的旋片式真空泵的常见保养方法

       旋片式真空泵是抽除密封容器中的气体从而获得真空的主要镀膜机。在实际运用过程中需要正确的保养才能提高它的性能和寿命，(不适宜抽含氧过高的、有性的、对金属起腐蚀的和含有颗粒尘埃的气体)。据调查了解，有相当一部分用户，是因为使用不当，而出现了一些问题。本文针对真空镀膜设备的旋片式真空泵的常见保养提几点需要注意的事项。

　　1、经常检查油质情况，发现真空泵油乳化及变质应及时更换真空油，确保真空泵工作正常。

　　2、真空泵换真空油的期限，按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长更换真空油期限。

　　3、严禁换用其他种类的油。一定要用专业的真空油。经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以旋片真空泵运转时，油位到油标中心为准。

　　4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类配件清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放，小心碰伤。

　　5、检查真空泵管路及结合处有无松动，漏气现象。用手转动真空泵，试试是否转动灵活。

　　6、有条件的对管道中同样进行清理，确保管路畅通。

　　7、严禁长时间抽大气!严禁无油少油工作。在被抽系统与真空泵链接处应该安装真空阀，停机前应先关闭通道已防止真空由回流到被抽系统中!确保被抽系统无腐蚀性气体。

　　8、旋片式真空泵重新装配后，应进行试运行，一般须无负载，空转2小时并换油二次。由于在清洗的过程中，在旋片真空泵箱体中会残留一定量易挥发物，待挥发完以后，再投入正常工作。

       用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面，沉积在基片上。溅射现象于1870年开始用于镀膜技术，1930年以后由于提高了沉积速率而逐渐用于工业生产。常用的二极溅射设备如图3[ 二极溅射示意图]。通常将欲沉积的材料制成板材──靶,固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶几厘米。系统抽至高真空后充入 10～1帕的气体（通常为氩气），在阴极和阳极间加几千伏电压，两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极，与靶表面原子碰撞，受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子,其能量在1至几十电子伏范围。溅射原子在基片表面沉积成膜。与蒸发镀膜不同，溅射镀膜不受膜材熔点的限制,可溅射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等难熔物质。溅射化合物膜可用反应溅射法，即将反应气体 (O、N、HS、CH等)加入Ar气中,反应气体及其离子与靶原子或溅射原子发生反应生成化合物（如氧化物、氮化物等）而沉积在基片上。沉积绝缘膜可采用高频溅射法。基片装在接地的电极上，绝缘靶装在对面的电极上。高频电源一端接地，一端通过匹配网络和隔直流电容接到装有绝缘靶的电极上。接通高频电源后，高频电压不断改变极性。等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分别打到绝缘靶上。由于电子迁移率高于正离子，绝缘靶表面带负电，在达到动态平衡时，靶处于负的偏置电位，从而使正离子对靶的溅射持续进行。采用磁控溅射可使沉积速率比非磁控溅射提高近一个数量级。