真空高温轴承在真空镀膜机方面的应用

       1、例行保养生产设备中发现了一个不好的迹象，立即解决。

　　真空镀膜机不要认为这油定期更换，等待维修时间，转子泵严重磨损可能。例如，轴承的一些卡工件转架，更换轴承，然后等到它完全打破了，可真是个大问题，镀膜机可能会导致转架电机烧毁等。

　　2、定期检修，镀膜机有人会问一个日常的维护也需要定期维护?事实上，每个设备都有它自己的生命，如2年油扩散泵的使用寿命，提前更换，镀膜机在生产阶段没有问题。

　　要你把日常维护和定期检修，对设备的使用寿命，在同一时间的延长，生产过程中的失效概率大大减少，提高了生产效率。

　　3、不要盲目拆卸。

　　镀膜机问题的真空部分是困难的，而许多公司不泄漏检测器，并将逐步找到。

　　为什么不去真空可能有以下几点：

　　3-1、也许是泄漏率，也就是我们常说的泄漏；

　　3-2、也许是真空机组的抽气能力是不够的，污染或氧化；

　　3-3、可能是一个真空室太脏空气；镀膜机漏水

　　3-4、真空室；

　　4、次管道泄漏；或是有可能的问题，首先根据现象判断，然后根据判断发现问题，可以取得事半功倍的效果。

　　5、养成良好的卫生习惯。镀膜机除尘设备及周边设备。灰尘会产生静电，对电子元器件的损坏。油能使导线管淬火裂纹，导致一些意想不到的问题。

        真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

我们详细介绍真空轴承在蒸发式真空镀膜机上的应用，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

        轴承安装部位如图片所示管轴的两端，内部数十个类似的安装单元。由于机体内温度较高，普通轴承难以承受数百摄氏度高温真空工作环境，油脂润滑、石墨润滑的轴承产品在高温真空环境内运转过程中会带来油脂和石墨粉尘的污染，同时轴承短时间报废，导致产品的生产不合格。

我司所设计此款高温轴承，结合实际工作环境，采用高温自润滑的工作方式；通过长期验证达到了寿命长，免维护，洁净度高，不会带来污染，由此保证该机的正常运转。产品安装更换简单，大大的提高了机器的运转时间和效率，减少了机器维护保养得次数和保养成本。